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現場直擊 | 聚焦日揚科技無錫半導體CSEAC 2025展會現場
現場直擊 | 聚焦日揚科技無錫半導體CSEAC 2025展會現場

現場直擊|聚焦日揚科技無錫半導體CSEAC2025展會現場無錫半導體設備年會9月4日,第十三屆半導體設備與核心部件及材料展(CSEAC2025)在無錫太湖國際博覽中心正式開幕。現場聚集了半導體全產業(yè)鏈上千家廠商,日揚科技作為半導體核心零部件與材料廠商,攜帶真空閥門、腔體、零配件、真空涂層和尾氣處理設備亮相B1-229展位現場,展臺顧客絡繹不絕,積極探討真空解決方案!展會亮點產品聚焦在APC控壓閥門...

2025-09-05
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  • 如何選擇雙級旋片真空泵

    雙級式真空泵哪里好?針對國內百花齊放的雙級式真空泵市場,讓內行都眼花繚亂,更別說不懂行的外行了。那么國內雙級式真空泵哪里好呢?相信這個問題才是許許多多對雙級式真空泵有需求的中小型企業(yè)關心的。一直以來,許多人對國內廠商的產品都很沒有信心,其實這也不能怪他們,正是由于之前國內廠商的不良競爭,導致出現了一些有問題的品牌,從而另人對國產的雙級式真空泵產生了懷疑.作為有著10年制造研發(fā)經驗,致力于打造行業(yè)的陜西艾克森真空科技有限公司,在制造雙級式真空泵方面可謂是國內廠商的。公司位于陜西...

    20179-7
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  • 羅茨真空泵介紹及特點

    羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。一般來說,羅茨泵具有以下特點:在較寬的壓強范圍內有較大的抽速;起動快,能立即工作;對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感;轉子不必潤滑,泵腔內無油;振動小,轉子動平衡條件較好,沒有排氣閥;驅動功率小,機械摩擦損失小;結構緊湊,占地面積小;運轉維護費用低。因此,羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、...

    20178-22
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  • MKS質量流量計的實流檢測

    對于燃氣流量計,在生產過程中,實際氣體標定通常難以實現,因此空氣校準是必然的選擇。空氣校準的流量計,必須能夠容易地應用到實際的城市燃氣計量中。理論上,由于傳感器封裝在流場中形成邊界層層流狀態(tài)及相對穩(wěn)定的流場,氣體修正因子可用于不同測量氣體的檢測。為了證明這一理論推測,在空氣中標定2臺MEMS質量流量計,其中1臺管徑為50mm,測量范圍為0~400m3/h;另1臺管徑為80mm,測量范圍為0~1500m3/h。在進行天然氣實流檢測前,通過軟件設定單一線性氣體修正因子為0.784...

    20178-9
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  • 磁控濺射鐵磁性靶材存在的問題

    對于Fe、Co、Ni、Fe2O3、坡莫合金等鐵磁性材料,要實現低溫、高速濺射沉積,采用普通的磁控濺射方式會受到很大的限制。這是由于采用上述幾種材料制成的靶磁阻很低,大部分磁場如圖1所示的那樣幾乎*從鐵磁性靶材內部通過,使靶材表面上部的剩余磁場過小,無法形成有效地電子束縛區(qū)域,不可能形成平行于靶表面的使二次電子作圓擺線運動的強磁場,使得磁控濺射不能進行。此時,磁控濺射就成為效率很低的二極濺射,使薄膜的沉積速度大大下降,基片急劇升溫。相比普通靶材,除了磁屏蔽效應外,在濺射鐵磁性材...

    20177-25
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  • 磁控濺射鐵的磁控濺射系統(tǒng)的改進設計

    采用對靶磁控濺射系統(tǒng),可以獲得高沉積速率的磁性膜,且不必大幅度升高基片溫度。對靶磁控濺射系統(tǒng)可以用來制備磁性Fe、Ni及其磁性合金膜。對靶磁控濺射系統(tǒng)其原理如圖3所示。兩只靶相對安置,所加磁場和靶表面垂直,且磁場和電場平行。陽極放置在與靶面垂直部位,和磁場一起,起到約束等離子體的作用。二次電子飛出靶面后,被垂直靶的陰極位降區(qū)的電場加速。電子在向陽極運動過程中受磁場作用,作洛侖茲運動。但是由于兩靶上加有較高的負偏壓,部分電子幾乎沿直線運動,到對面靶的陰極位降區(qū)被減速,然后又被向...

    20177-11
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  • 磁控濺射鐵磁性靶材增強磁控濺射陰極的磁場

    增強濺射陰極磁場的另一種方法是采用高強磁體,通過強磁場飽和更厚的鐵磁性靶材得到靶材表面需要的濺射磁場強度。但是高強磁鐵的價格昂貴,同時采用這種方法增加靶材厚度的效果有限,而且由于強永磁體大小不能改變,這種方法會引起嚴重的等離子體磁聚現象。等離子體磁聚現象的產生使濺射區(qū)靶材很快消耗完而不能繼續(xù)濺射,從而造成靶材利用率很低。采用電磁線圈來產生高強磁場,通過調節(jié)電磁線圈的電流控制磁場大小來抑制等離子體磁聚。但這種方法的磁場裝置復雜而且成本高,同時電磁線圈還受到濺射陰極尺寸的限制,從...

    20176-23
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  • 高真空插板閥組成及原理

    在真空系統(tǒng)中,高真空插板閥用來切斷或接通管路氣流,按其結構原理可分為滾珠脹緊型與平行四邊形運動機構撐開型。本文的研究對象ZBS-800高真空插板閥為滾珠脹緊型,滾珠脹緊方式的高真空插板閥主要由閥體(閥殼、閥蓋、密封圈)、閥板組件(脹緊滾珠、密封閥板、承壓閥板、板簧、保持架、導向輪)、驅動部分(曲柄連桿機構、氣缸、機械到位開關)等部件組成,具體結構原理圖如圖1所示。真空插板閥是一種雙向密封閥,在正向或反向抽真空時,密封閥板兩面形成0至1大氣壓壓差,均能達到真空密封,壓差作用在密...

    20176-6
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  • 高真空插板閥工作狀態(tài)監(jiān)測方法

    根據ZBS-800型插板閥的組成以及結構特點,可以采用檢測真空閥門閥板位移、閥門開啟以及關閉過程的聲音、閥門開啟以及關閉所需時間相互結合的方法對閥門的工作狀態(tài)進行預測。2.1、閥門密封閥板的位移激光位移傳感器是可以進行非接觸位置、位移測量的精密傳感器,在科學研究、工業(yè)生產、空間技術、國防等領域得到了廣泛應用,我們選用激光三角測量法傳感器對閥門密封閥板的位移進行測量,激光三角測量法原理如圖2所示,激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經物體反射的激光通過接收器鏡頭,...

    20175-23
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  • 磁控濺射鐵磁性靶材的設計與改進

    將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見方法。如果鐵磁性靶材足夠薄,則其不能*屏蔽磁場,一部分磁通將靶材飽和,其余的磁通將從靶材表面通過,達到磁控濺射的要求。這種方法的大缺點是靶材的使用壽命過短,同時靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一個缺點是濺射工作時,靶材的熱變形嚴重,往往造成濺射很不均勻。一種對鐵磁性靶材進行的改進設計是在靶材表面刻槽,槽的位置在濺射環(huán)兩側。這種設計的靶材適用于具有一般導磁率的鐵磁性靶材,例如鎳。但對具有高導磁率的靶材料效果較差。雖然靶材的...

    20175-15
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  • 真空截止閥的真空夾層氣體特性

    真空截止閥的真空部分主要由內閥體和外閥體的中間夾層組成,夾層中氣體越多,對流傳熱就越劇烈,為減少對流換熱的影響,要對夾層進行抽真空處理,殘余氣體的傳熱屬于氣體的能量遷移,對于真空夾層的氣體導熱隨著夾層壓強的不同,氣體的導熱機理不相同。真空夾層的殘余氣體的傳熱分三種情況,分別是:低真空、中真空和高真空,就高真空而言,氣體分子的平均自由程大于容器尺寸,分子間相互碰撞的幾率很低,分子與界面的碰撞比分子間的相互碰撞頻繁得多,氣體中各處溫度相等,氣體分子可以由一個壁面飛向另一個壁面,每...

    20174-20
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  • 為什么質量流量計的量程比越小壓降越大

    質量流量計它可以測量流體介質的質量,也可以測量流體介質的密度。儀表的量程比會影響它自身測量精度,但是會引起壓降的講法還沒聽過。質量流量計根據哥里奧利效應而制成的質量檢測儀表,因此質量流量計的檢測不受溫度、壓力、流速、密度、粘度等影響。質量流量計的特點質量流量計它的檢測精度高、量程范圍寬、可靠性高,而且后期維護量小。在測量流體介質質量流量時也可以測量流體介質的密度。它的輸出信號為4-20maDC模擬量信號,同時又能輸出頻率信號,能更好的與計算機相兼容,因此能構成完善的本質安全系...

    20174-12
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  • 闡述真空規(guī)管的使用操作

    真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置,是指電離規(guī)管,玻璃管端部用老虎鉗夾破一點,插進真空室密封好,必須大氣狀態(tài)完成。(還有電阻規(guī)它是測粗真空的,這種沒有規(guī)管,就一個傳感器)用來監(jiān)測真空度的,,電離規(guī)開啟一般是有要求的,當壓強到3PA以下才開真空,可設置壓強參數,到了會自動開,過早開會氧化電離規(guī),導致燒壞真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸到真空計上經過放大處理就可以顯示出被測真空環(huán)境的真空度。主要應用于真空環(huán)境的真空度測量領域,如真空鍍膜,太陽能集熱管制作...

    20173-23
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