帶集成源控制的 HVPS/SC 高壓電源

性能強大，設計小巧
HVPS/SC 是固態高壓電源，具有在電子束 (e-beam) 真空沉積系統中使用的集成源控制器。 其革命性的設計使其成為市場上zui小、zui有效并且功能豐富的高壓電源之一。
性能強大
HVPS/SC 具有 4 至 10.2 千伏的可調輸出電壓以及 10 至 999 毫安的可調發射電流。 這使其兼容各種電子槍。 零電壓開關 (ZVS) 技術和接近 1 的功率因數可幫助 HVPS/SC 實現超過 90% 的效率，具有小于 1% 的發射電流紋波，從而獲得精密可靠的電子束。
經久耐用
HVPS/SC 非常堅固可靠。 設計為連續工作和/或連續電弧，在 15 毫秒內就可實現*電弧恢復。存儲能量在 10 千瓦下低至小于 2 焦耳，從而有助于快速消除電弧并將對速率控制的影響降到zui低。 每個 HVPS/SC 均經過全面測試和強化測試，以確保正常運行和耐用性。
設計小巧，易于集成
HVPS/SC 將電源和源控制器通過“直接到燈絲"的設計相結合，無需外部燈絲變壓器。 這一設計使得占用的機架空間比多數競爭對手的電源和源控制器少一半有余，可以輕松集成到工具中。 通過標準 USB、RS-232 和 RS-485 連接即可連接到 PC 或 PLC。

功能

·         4 至 10.2 千伏輸出電壓，10 至 999 毫安發射電流輸出

·         超低存儲能量（10 千瓦輸出下小于 2 焦耳）

·         12 伏，70 安集成絲極電源用于調節發射

·         功率因數接近 1 且 >90% 的效率

·         精確： <1% 紋波和調節

·         快速電弧響應： 約 15 毫秒內*電弧恢復

·         堅固耐用： 適合連續工作和在連續電弧下工作，或兩者之間的任何情況

·         短路/過熱/過電壓保護

·         結構緊湊： 高度為 3U

·         可編程電弧率閾值和電弧延遲

·         集成源控制（燈絲電流電源）和燈絲變壓器，易于安裝

·         集成電源線路濾波器

典型應用

·         單槍電子束沉積系統

·         雙槍電子束沉積系統（需要兩個 HVPS/SC）