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      EDWARDS復合渦輪分子泵

      簡要描述:BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

      • 產品型號:EXT406PX
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2025-05-30
      • 訪  問  量:5005
      • 產品資料:

      詳細介紹

      品牌Edwards/愛德華產地進口
      加工定制

      BOC Edwards EXT406PX泵

      性能特點

      真空系統簡單

      * 可以選用較小的前級泵。

      * 降低真空系統體積與功耗。

      * 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

      * 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

      * 前級壓力為17mbar時,還可維持正常轉速。

      非常適合于與隔膜泵聯用,特別適用于抽H2。

      兼容24v DC Edwards TIC渦輪控制器或渦輪儀表控制器。

      * 也可使用用戶自己的24V DC電源。

      技術數據


      入口法蘭          DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

      壓縮比

      N2

      >1 x 10E11

      He

      1 x 10E6

      出口法蘭(前級泵口)

      DN25NW

      前級泵(推薦)

      XDS10或RV12(或其它更小的,依應用而定)

      放氣口

      1/8 inch BSP

      吹掃凈化口

      1/8 inch BSP

      zui高入口壓力(空氣) *



      水冷(水溫15°C,大氣溫度40°C)

      0.008mbar


      空冷(大氣溫度35°C)

      0.012mbar

      額定轉速

      60000 rpm

      轉速達到90%所需時間 **

      285 s

      冷卻方式

      空冷/水冷

      大氣溫度(空冷)

      5-35 °C

      冷卻水zui低流速(水溫15 °C)

      15 l/h

      水溫范圍

      10-20 °C

      入口法蘭zui高溫度

      100 °C

      工作姿態

      垂直

      噪音(1m處)

      <45 dB(A)

      zui大磁場

      5 mT

      靜止功耗

      25~40 W

      EXT406PX渦輪分子泵安裝尺寸

      A EXDC控制器

      B 前級泵口

      C 羅茨泵口

      D 吹掃凈化口

      E 放氣口

      F 接地


      EXT406PX渦輪分子泵特性曲線



      訂貨信息


      描述

      貨號

      EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100ISO入口法蘭

      B760-31-991

      EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭

      B760-32-991

      EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160ISO入口法蘭

      B760-41-991

      EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭

      B760-42-991

      EXDC160 24 V

      D396-46-000





























































































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