INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復(fù)合真空計 BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓（3.8×10-10 Torr 至大氣壓）。多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇 BPG400 單一經(jīng)濟(jì)型封裝，在低成本、可重復(fù)的過程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測量。

好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染

長使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

皮拉尼復(fù)合真空計典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業(yè)鍍膜

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制