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簡要描述：INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結(jié)合使用時，可自動更換其晶體，而無需中斷過程。晶體不穩(wěn)定或失效時，IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉(zhuǎn)傳送帶發(fā)送信號，要求其立即將新晶體旋轉(zhuǎn)到位，從而實現(xiàn)持續(xù)沉積速率監(jiān)控。
產(chǎn)品型號：XL12廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-11-27訪 問 量：3221產(chǎn)品資料：查看pdf文檔產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
| 品牌 | Inficon/英福康 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
XL12-INFICON Crystal 12探頭（傳感器）
自動晶體切換大限度地延長生產(chǎn)時間
INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結(jié)合使用時，可自動更換其晶體，而無需中斷過程。晶體不穩(wěn)定或失效時，IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉(zhuǎn)傳送帶發(fā)送信號，要求其立即將新晶體旋轉(zhuǎn)到位，從而實現(xiàn)持續(xù)沉積速率監(jiān)控。為進(jìn)一步最小化停工時間，可以將晶體預(yù)先加載到另一個可選旋轉(zhuǎn)傳送帶上，這樣，可以直接輕松快速地更換裝有失效晶體的旋轉(zhuǎn)傳送帶，從而大限度縮短系統(tǒng)打開的時間。
功能
裝有 12 顆晶體，可進(jìn)行可靠的自動轉(zhuǎn)換，從而大限度延長過程運行時間
易于拆卸的旋轉(zhuǎn)傳送帶允許快速更換所有 12 顆晶體
晶體轉(zhuǎn)換由空氣驅(qū)動完成（競爭產(chǎn)品是使用生熱電機(jī)），因而晶體溫度非常穩(wěn)定
易于拆卸的前沉積罩保護(hù)晶體和旋轉(zhuǎn)傳送帶上不會積存材料，從而大限度減少拆卸整個傳感器以進(jìn)行維護(hù)的必要性
可選安裝后套件允許用戶根據(jù)公制硬件大小自行修改
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