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真空涂層試用!| WEH®和NFH®涂層的案例分享

更新時間:2025-08-19      點擊次數:385

真空涂層xianshimianfei試用!| WEH®和NFH®涂層的案例分享

真空涂層試用!| WEH®和NFH®涂層的案例分享


WEH®和NFH®涂層是日揚研制的兩款真空納米涂層,專門針對解決半導體、光伏等行業之中,真空系統制程設備以及零部件中的腐蝕、堵塞難題。延長設備和零件的使用壽命和維護/更換周期,以提高產線稼動率, 達到大幅降低成本的目的。

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真空納米涂層的優點

-WEH®和NFH®的特點-

• 納米級材料,可均勻且牢固附著基材表面。

• 強疏水性,接觸角高達106°,不易粘附粉塵。

• 耐腐蝕性,有優秀的耐強酸、強堿性能。

• 耐高溫性,可在400℃環境下保持優良性能。

• 性能穩定,經等離子束轟擊測試可保證低蝕刻率。不參與制程環境反應。對水分、腐蝕性氣體的阻隔性能優異,通過5B硬度測試,耐刮擦,這些穩定性能使該涂層壽命更久。


WEH®和NFH®涂層的比較

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1.WEH®涂層:相對來說成本更低,加工工序更加簡單,適合大面積涂裝,并已在zhiming半導體廠商MOCVD、ALD、AI-Pad等制程中應用,主要涂裝在真空泵、管道、閥門等零件之中。

2.NFH®涂層:不含氟,對環境和人員友好,不會產生PFCS、PFAS等副產物,適用于歐美環保標準;可替代現流行的PFAS材料以及特氟龍涂層;抗腐蝕性能是WEH®的4~8倍,適用于更嚴苛的制程環境。

日揚科技
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上海日揚WEH®實驗室介紹



涂層實用案例

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Q

如何知道該涂層是否適合我?

一般來說,如果您遇到以下幾種情況,可以考慮日揚科技真空納米涂層:

1.真空系統中,真空泵和管路經常堵塞、被腐蝕從而需要頻繁的停機維護。

2.工廠面臨產線和設備升級,需要實現長期的降本增效

3.目標客戶有著高標準的環保要求,需要降低工廠有害物質特別是含氟物質排放。

4.一般的拋光、電鍍、鍍膜等等材料表面處理工藝無法滿足制程要求,可選用特殊涂層實現防腐蝕性能。

5.除真空制程外,一般的化工、船舶、工業品生產,也可以考慮涂裝,以實現優異的防腐蝕、防粘連性能。

A

Q

涂層產品有經過市場驗證嗎?

WEH®涂層一經問世便通過了接觸角、粗糙度、疏水性、劃格硬度、耐腐蝕性、熱穩定性、等離子蝕刻、沉積物對比等等測試,包括提供了EDX/XPS材料表面含氟測試結果與選擇性成膜實驗結果,均由第三方檢測供應商提供數據,相較于同類別涂層,WEH®取得了優異的成果。目前,國內不少zhiming晶圓廠在排氣管線、干泵/渦輪泵上均有上機實用,以替代傳統3M3700,目前來看,日揚研制的WEH®涂層產品有5年以上的實驗和市場驗證,可放心選擇。

A

Q

如何驗證對我們的制程或設備有作用?

WEH®或NFH®涂層在不同的制程環境下表現不同,不同的溫度、特氣、壓力、結構、反應物甚至包括設備操作流程都會對涂層產品性能產生一定的影響,另外很多廠商也會考慮成本投入和產出的效益,擔心上機涂裝后,性價比較低,這一切顧慮都將由日揚來解決!自今日起,我們將在有意咨詢的廠商內,限定qian10名,免費承擔一定體積產品的打樣/試用費用,您們將設備與零件寄過來,我們免費涂裝交于廠商試用,提供全程技術支持,取得優秀的防堵塞、防腐蝕效果驗證后,再考慮是否采用日揚涂層產品。



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