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英??的切┏糜玫闹悄軝z漏工具

更新時間:2024-12-17      點擊次數(shù):777

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高效、精確、簡便的泄漏檢測,不僅歸功于高性能的檢測儀器,還離不開儀器所配置的各種智能工具。今天,官微君就將用一篇文章,為您講清楚英??的切?yīng)用于氦氣檢漏操作,懂儀器、更懂你的實用工具們。


SMART-Spray氦氣噴槍

—— 智慧型全能幫手

SMART-Spray是英福康專為UL系列檢漏儀設(shè)計的便攜式、無線、無管氦氣噴槍,有了它,氦氣泄漏檢測時使用軟管搬運超大氦氣瓶和反復(fù)手動調(diào)節(jié)噴霧量的操作都將成為過去。

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單次充裝氦氣,可噴氦超過1000次的SMART-Spray,不僅簡化了檢測流程,提高了檢測效率,還能夠通過精確定位檢查點所需的氣體流量大大節(jié)省氦氣用量和檢測成本


此外,其內(nèi)配備的彩色照明顯示屏,尤其適用于極限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s的環(huán)境,或是有著許多測試點和潛在泄漏的復(fù)雜半導(dǎo)體的泄漏測試,讓檢漏操作更加靈活與簡便。



I·BOOST信號處理濾波器

—— 提速技能滿分

依靠軟件更新后的I·BOOST信號處理濾波器,英??悼赏ㄟ^加速泄漏率信號、縮短噴涂間隔時間,來幫助用戶顯著提升測試效率,尤其適用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列。


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更值得一提的是,I·BOOST的優(yōu)勢在復(fù)雜的半導(dǎo)體系統(tǒng)檢漏應(yīng)用中尤為突出?!皹O限泄漏率越低,測試周期通常就越長,而這正是 I·BOOST 的高靈敏度和省時。"英??悼偛慨a(chǎn)品經(jīng)理馬庫斯-施萬貝拉介紹說。


SPRAY-Check參考漏孔

—— 不放過一處泄漏

SPRAY-Check是一種易于安裝的參考漏孔,其以石英窗為基礎(chǔ),只對氦氣和氫氣等輕氣體有滲透性。使用其輔助泄漏檢測,不僅提高了安全性,還擴展了檢測的功能,例如可在相關(guān)泄漏率范圍內(nèi)檢查測量設(shè)置和測試方案,或是將其直接連接到生產(chǎn)系統(tǒng)中進行死區(qū)時間檢查等。


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“在使用氦氣進行泄漏檢測時,從噴射氣體到檢漏儀顯示屏出現(xiàn)指示一般會有一段時間的間隔,用戶可通過估算該時間,來明確劃分出潛在的泄漏點。例如,若死鎖時間過后顯示屏沒有任何指示,則說明沒有泄漏。"馬庫斯-施萬貝拉進一步解釋說,“由于SPRAY-Check不受對工藝有害的氣體(如水或氧氣)的影響,因此它也可以安裝在半導(dǎo)體系統(tǒng)中,或應(yīng)用于極限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系統(tǒng)中。"


適配英??礥L系列檢漏儀,

助力提升半導(dǎo)體生產(chǎn)效率與品質(zhì)


SMART-Spray、I·BOOST 和 SPRAY-Check,適用于英??礥L系列的所有移動式氦氣檢漏儀(I·BOOST 僅限于最新一代UL3000 Fab/UL6000 Fab 系列使用)。


UL系列檢漏儀,一直是英福康的產(chǎn)品系列之一。UL6000 Fab ,憑借著zhuoyue的性能,被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代半導(dǎo)體工廠和具有超大腔室容積的涂層系統(tǒng)中,滿足較大測試量的檢漏需求。在所有測量范圍內(nèi),它都能提供最快的響應(yīng)時間和最短的測試時間。同時,其緊湊的設(shè)計,使其即使在狹小的空間內(nèi)也能輕松操作。

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UL3000 Fab 系列,也是專為半導(dǎo)體工廠的泄漏檢測而開發(fā)。其具有靈活、機動、調(diào)試快速和靈敏度高等特點,匹配半導(dǎo)體行業(yè)用戶對檢測高效性和精準性的要求。此外,UL3000 Fab 的占地面積也很小,可以在狹窄的空間內(nèi)輕松移動。


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UL1000 Fab 系列,則在集成以上產(chǎn)品優(yōu)勢的同時,又兼具了經(jīng)濟性,廣泛用于工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中的氦氣真空泄漏測試,尤其適用于較小的真空室。

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