英福康殘余氣體分析儀是可靠的殘余氣體分析儀(RGA),擁有為氣體分析,檢漏和污染檢測所需的高性能和低價格.這種簡單易用的RGA具有業界的非常小的可檢測分壓強(MDPP),信噪比和數據收集速度.該氣體分析儀提供了低總體擁有成本和高平均故障間隔時間(MTBFs)的經濟而有效的解決方案。
英?？禋堄鄽怏w分析儀的功能：
1.應用于ALD、蝕刻、CVD，對殘余氣體進行過程監測和分析
2.測量速度為每點1.8ms（每秒555點）
3.在大多數苛刻CVD和蝕刻應用中，展現出經實踐驗證的耐久性和可靠性
4.應用集成—TranspectorCPM集成FabGuard軟件，由INFICON提供支持，是一款強大的過程監測與診斷工具
5.緊湊尺寸—允許輕松集成到半導體生產設備
6.Hexblock™含三個壓力進口并減少表面積，以小化表面反應時間和響應時間
7.電容隔膜計(CDG)—CDG允許用戶監測過程壓力，并自動保護系統不出現壓力偏移
8.自動校準—確保長期數據穩定性和精度，以便進行各傳感器和工具的腔室匹配
英福康殘余氣體分析儀用于myRGA傳感器的現代化離子源設計將兩根燈絲集成在陽極,陰極和反射極的組裝件中.雙燈絲設計中包含一根可使RGA具有較大上線時間的備用燈絲.使用myRGA,還可獲得特定應用的燈絲選擇(鎢絲用于含鹵素的過程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程),確保過程本身不會縮短燈絲的壽命.更換myRGA中的燈絲套件相當于更換傳統RGAs的整個離子源,節約成本,從而大大地降低總體擁有成本.
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