中國半導體行業的危機對真空行業的影響

*，華為新一代麒麟芯片，其實是由臺積電企業代為加工。目前我國芯片制造業的中芯,它的量產制程能力僅能達到28nm。在芯片5nm制造工藝大戰爆發的前夕，我國企業卻還在為沒有拿到“入場券”而嘆息。隨著美國對華為、中芯的制裁，中國半導體行業陷入更深的危機，我國迅速發展自己的芯片技術迫在眉睫。

嚴峻的市場*不在鞭策著中國的光電技術行業，而我國也已經在半導體制造行業中開始暗暗發力，例如由中科光電研究團隊承擔的課題“極紫外光刻原理實驗裝置機械與真空系統研制”在長春光機所順利完成驗收前現場測試。該課程經過8年的技術攻關，完成了從真空、輸片、工件臺、減振到檢焦等關鍵單元技術，這就意味著真正實現了5.8×10^-7Torr穩定的高真空環境，保證了EUV光源傳播的穩定性。

談到半導體技術，就繞不開真空行業。由于半導體制造與封測技術的復雜性，從晶圓裸片到芯片成品，中間需要經過氧化、濺鍍、光刻、刻蝕、離子注入、以及封裝等上百道特殊的工藝步驟，其中多個步驟都離不開真空環境。就半導體應用設備而言，電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、激光、離子注入設備、離子刻蝕機、CVD、PECVD，PVD、分子束外延設備、集成電路封裝等等，均會用到中高真空。

盡管中國半導體行業深受打壓以及疫情的沖擊，但危險孕育著機會，國家層面對半導體行業*重視，各種政策和資金陸續出臺和落實，反而讓行業看到了趕超先進水平的曙光，興業證券經濟與金融研究院電子行業分析師認為，半導體景氣周期來臨，國內晶圓廠投資進入高峰期，預估2020-2021年國內半導體設備市場分別為149億美金、164億美金，逐漸成長為大的半導體設備市場地區。伴隨著半導體的機遇，真空行業同樣機會多多：

半導體行業可能用到的真空獲得產品有：安捷倫（Agilent Technologies)、普發（PFEIFFER）、愛德華（EDWARDS）的旋片泵、隔膜泵、螺桿泵、泵組、羅茨泵、分子泵、分子泵機組。

真空測量產品有：英福康（INFICON）、MKS Granville-Phillips真空計及控制器。

真空檢測產品有：英?？担↖NFICON）LDS2010模塊化系統檢漏儀（通用于集成于工業的檢漏測試系統）、殘余氣體分析儀（RGA）和質譜儀。

還有些真空輔助產品包括：
 日揚（HTC）的真空法蘭、波紋管、卡扣、中心圈、轉接頭、真空角閥、全金屬角閥、真空蝶閥、真空插板閥。英?？担↖NFICON）真空連接件、視窗、真空饋入件和系列膜厚控制儀（晶控），福特林（Vogtlin)各系列質量流量計和控制器和高精度調節閥等等。

舉例說明：所有設備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規，一般前級真空一個，本底和工藝監控各一個，都選的是進口的真空計，皮拉尼、熱電離規、電容薄膜規等，品牌主要為深圳市科銳詩汀代理的瑞士Inficon或美國MKS。

技術和資本從來都是推動中國半導體行業這輛馬車的兩個車輪，但是從現階段來看，我國在技術的輪子上還明顯要加把火，以爭取早日跟上我國資本發展的腳步。

衷心希望半導體和真空行業能抓住這次機會，取得輝煌的成就。