英福康薄膜真空計是一種廣泛應用于真空測量領域的儀器,主要用于低真空范圍的測量。該真空計利用薄膜傳感器的特性,通過感知環境壓力變化來實現真空度的測量。基本工作原理基于薄膜傳感器的電阻變化。薄膜傳感器通常由金屬薄膜或半導體材料制成,當氣壓變化時,薄膜表面受外界氣體分子撞擊,導致薄膜材料的物理特性發生變化,進而引起電阻變化。通過測量電阻變化,便可推算出環境的真空度。

1.高精度和穩定性
能夠在較寬的壓力范圍內提供高精度的測量數據。與其他類型的真空計相比,薄膜真空計具有較高的穩定性,能夠長期保持測量精度,減少設備故障和校準的需求。
2.寬廣的測量范圍
薄膜真空計的壓力測量范圍通常從10^-3Pa到10^5Pa,可以廣泛應用于從高真空到粗真空的各類環境。這個范圍覆蓋了大多數工業應用和實驗室研究中的需求。
3.響應速度快
響應速度相較于其他傳統的真空計要更快。這使得它在需要快速檢測和實時監控的應用中表現出色。例如,在半導體制造、薄膜沉積等精密制造過程中,快速反應能夠及時調整工藝參數,確保產品質量。
4.結構緊湊
設計緊湊,體積小,重量輕,非常適合空間有限的環境中使用。其堅固的結構和耐高壓設計使其在工業現場中能夠承受較為嚴苛的工作條件。
5.適應性強
可適應多種環境條件,包括不同的溫度、濕度和震動等。其具有較強的抗干擾能力,能夠在復雜的環境下保持準確的測量結果。
優勢:
1.精度高、誤差小
采用先進的傳感技術和高精度的電路設計,能夠在極低的真空度下提供準確的讀數,并且具有較小的測量誤差,確保了其在各種復雜環境下的應用可靠性。
2.長期穩定性
該真空計具備較長的使用壽命和較低的維護需求。通過高質量的薄膜材料和先進的工藝,能夠長期穩定地工作,減少了維護和更換的頻率,降低了整體成本。
3.高抗干擾能力
具有較強的抗電磁干擾和溫度變化的能力,能夠適應高頻震動、外部電磁場等影響,保持測量數據的穩定性和準確性。
英福康薄膜真空計的安裝與使用注意事項:
1.安裝位置選擇
在安裝薄膜真空計時,應選擇相對干凈、穩定的位置,避免直接暴露于高溫、高濕度或強電磁干擾的環境中。對于真空度變化較大的地方,盡量避免安裝在直射氣流或渦流的區域。
2.定期校準
為了確保測量精度,薄膜真空計需要定期進行校準。用戶可以參考廠商的建議周期,選擇合適的校準服務或自行進行校準操作。
3.保養與維護
薄膜真空計在長期使用過程中,可能會受到積塵或其他雜質的影響,因此定期檢查和清潔傳感器表面非常重要。清潔時應使用適當的工具和溶劑,避免損壞薄膜傳感器。