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技術文章
從手機、電腦，到汽車、電器，再到醫(yī)療儀器、航空裝備，我們生活中的很多事物都離不開先進的半導體技術，而產(chǎn)量和規(guī)模的不斷增長，也讓芯片制造工藝越來越精密。準確的泄漏檢測技術，是確保半導體產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率的關鍵。
本文就將為您淺析英福康在半導體泄漏檢測領域多樣化的應用場景和產(chǎn)品方案
保持真空
英福康精確的泄漏檢測方案可確保對半導體工藝至關重要的真空條件的完整性。即使是極微小的泄漏，也可加以識別和修復，以確保 dute的半導體特性。
保持潔凈室條件
使用示蹤氣體進行泄漏檢測，可有效防止顆粒和污染物的進入，維護半導體潔凈室嚴格的潔凈度標準。
定位復雜泄漏
英福康的泄漏檢測技術，包括示蹤氣體的使用，可有效識別定位不同配置的復雜半導體設備中的各種泄漏。
捕捉微小泄漏，保持產(chǎn)品品質(zhì)
精確、高靈敏度的泄漏檢測方案可確保識別極微小的泄漏，以保持半導體制造工藝所需的純度，防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。
材料兼容性
英福康的泄漏檢測方案與半導體材料兼容，可確保不會損壞或改變半導體制造中所用材料的性能。
快速檢測泄漏，實現(xiàn)高產(chǎn)能
英福康提供的可靠泄漏檢測系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果，從而提高半導體制造的產(chǎn)能。快速識別和解決泄漏問題也是最大限度減少停機時間，確保生產(chǎn)效率的關鍵。
與自動化系統(tǒng)集成
英福康的泄漏檢測方案可與自動化系統(tǒng)無縫集成，實現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時泄漏響應，并有助于提高半導體自動化制造過程的整體設備效率 (OEE)。
經(jīng)濟高效的解決方案
英福康致力于開發(fā)經(jīng)濟高效的泄漏檢測解決方案，在準確性和成本之間取得平衡。
福康所提供的用于嗅探和真空檢漏的檢漏儀，被廣泛應用在半導體芯片制造、太陽能電池生產(chǎn)線、平板顯示器、玻璃和塑料箔鍍膜以及一般真空系統(tǒng)中。
UL6000 Fab
UL6000 Fab 系列是 UL 移動式氦氣檢漏儀產(chǎn)品組合中的旗艦產(chǎn)品。其專為半導體工廠中的大型工具，以及太陽能電池制造、平板顯示器和片到片或卷到卷（卷筒）涂層中使用的大型涂層工具而設計。該設備在所有測量范圍內(nèi)都能提供快速響應，測試時間極短，使泄漏檢測更為準確、高效、簡便。
此外，該設備的占地面積很小，可確保在對工具空間要求更嚴格的工廠環(huán)境中，獲得可操作性和足夠的工作空間。
UL3000 Fab
UL3000 Fab 系列移動式氦氣檢漏儀，專為半導體工廠中大多數(shù)工具的檢漏需求而設計。它具有靈活性、移動性、快速啟動、高靈敏度、高準確性和高可靠性等特點。與 UL6000 Fab 一樣，它的占地面積非常小，可幫助用戶更有效地利用昂貴的潔凈室空間。
UL1000 Fab
UL1000 Fab 系列移動式氦氣檢漏儀，是工業(yè)或半導體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空檢漏的性產(chǎn)品，尤其適用于較小的真空室。該設備在高性能、堅固性和經(jīng)濟性之間實現(xiàn)了最佳平衡。
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