inficon 真空計的名稱由來

inficon 真空計的名稱由來

真空腔體的真空壓強檢測使用真空計，一般配置是：前級泵組管道配置一只PSG500；本底真空配置一只熱電離規或者冷陰極規MPG400或者BPG400；工藝壓強測量/監控配置一只CDG025D。

1. PSG系列: Pirani Standard Gauge

2. PCG系列: Pirani Capacity Gauge

3. CDG系列：Capacity Diaphragm Gauge

4. BAG系列：Bayard Alpert Gauge

5. VGC系列：Vacuum Gauge Controller

6、BPG系列：Bayard-Alpert Pirani Gauge（B-A型皮拉尼）

7、MPG系列：Magnetron Pirani Gauge（磁控皮拉尼）

8、HPG系列：High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge

9、PGE系列：Pirani Gauge Enhanced

10、PEG系列：Penning Gauge（冷陰極潘寧規）