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中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析

更新時間:2022-10-24      點擊次數:3319

中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析

 

中國臺灣日揚(Htc)自動壓力控制APC蝶閥,是整合真空腔體壓強反饋與馬達控制技術的真空閥門,可以快速調節真空腔體制程壓力,*隔絕真空側和大氣側,APC蝶閥具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等特點,搭配HtcAPC軟件,可以簡單快速地設定并監控制程壓力。

APC蝶閥,廣泛應用于半導體、光電產業、太陽能產業、CVD制程等行業,安裝在真空泵組與真空制程腔室之間,通過真空計反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小,從而達到調節腔室壓力的目的。

本次實際使用的蝶閥型號是ISO63BFVC/RS485,通過自帶的軟件,可以進行如下功能的設定:閥門位置、真空壓力、目標壓力、JOG+OPEN全開、CLOSE全閉、JOG-、HOLD(馬達鎖定,所有命令無效)等。

真空計的設定,重新設定壓力范圍(例如講0.1Torr改為1Torr)后,要關掉軟件,再重新打開軟件,更改設定才會有效。對應真空計0-10V的設定壓力值,具有線性特性。

馬達的PID調節,將I=0.1D=0,調整P參數有1增加到馬達有震動之后將該值除以2,則為P之設定值。

使用RS485接口時,兩次訊息之間必須間隔7個字節以上的時間。

整個過程,調試方便順利,控制精度高、反應迅速,整個工況讓客戶非常滿意!

 

深圳市科銳詩汀科技有限公司,集中國臺灣日揚(Htc)真空閥門、真空腔體、真空管件、英福康(Inficon)真空計、檢漏儀、晶振片、安捷倫(Agilent)真空泵于一體的真空系列產品提供商,竭誠為真空行業提供高質量的產品和服務!

作者:深圳市科銳詩汀科技有限公司銷售部

備注:以上文章內容為相關說明書節選

 


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