Inficon高精度薄膜電容規（CDG）

Inficon高精度薄膜電容規（CDG）

INFICON 陶瓷電容式膜片真空計 (CDG)  專為要求極其嚴格和準確度要求jigao (0.15%)的真空行業設計。防腐蝕超純氧化鋁材料傳感器，可確保該真空計*的性能、長期的穩定性、高準確度和多年免維護。精準真空測量范圍從 0.1 毫乇到 2 巴。

其測量原理是通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度。

INFICON 提供規格齊全電容式膜片真空計（CDG），從價格便宜的Porter狀態真空計到shijieshagnzui快的測量時間不到1毫秒Stripe電容式膜片真空計（CDG）、200℃過程控制規管壓力表或具有優良穩定性的比對真空計校準儀。豐富可選的法蘭和通訊接口的大量選用（如以太網接口）使這些儀表成為既簡單又實惠的結合。

具體型號有：

Porter CDG020D；CDG025D；CDG045D。

加熱型CDG100D；加熱型CDG160D；加熱型CDG200D。

高速加熱型StripeCDG45Dhs；高速加熱型StripeCDG45Dhs。

設計緊湊的加熱式Edge CDG045D2; 

設計緊湊的加熱式Edge CDG100D2。

典型應用

· 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備

· 數據存儲和顯示制造設備

· 工業真空設備

· 常規高精度壓力測量

· 真空鍍膜

· 真空監控

· 食品與包裝

· 真空爐，拉晶器

· 化學真空過程

深圳市科銳詩汀，集真空計、撿漏儀、真空腔體、真空閥門、真空泵、真空管道于一體的真空系統服務商，竭誠為真空行業提供高質量的產品和服務！

作者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術中心

備注：以上文章內容為inficon相關文章的節選