渦輪分子泵的使用和維護(hù)

渦輪分子的使用和維護(hù)

 一、總體安裝注意：

1.安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否損壞。

2.打開泵高真空端法蘭蓋板，波動渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動靈活，無異常現(xiàn)象。

3、安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。

4、確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝，特殊情況下做特殊防護(hù)網(wǎng)。

5、確認(rèn)已裝入潤滑油。

6、安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平;油潤滑：豎直方向+/-5;潤脂油：任意角度

二、油池安裝

1、拆下注油

2、油量控制

3、油池衛(wèi)生、防顆粒。

4、對好、對稱上緊螺釘。

5、防止有漏，減少“油黑”

三、進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝

1、泵入口：對正附件、對稱擰緊

2、泵出口：防止錯位

3、冷卻水：無漏水

四、電纜安裝

1.對正槽口插入

2、用螺母擰緊，邊插邊擰

3、檢查到位

五、分子泵啟動

1、啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度

2、啟動時(shí)間

   同時(shí)啟動—小系統(tǒng)，防前級泵油上返

   延遲啟動—系統(tǒng)容積過大，先啟動前級泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa，啟動分子泵。

六、振動隔離、沖擊防護(hù)

1、分子泵振動極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。

2、沖擊防護(hù)：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐

   機(jī)械振動（預(yù)抽泵、前級泵、機(jī)械動作等）

   氣體振動（氣量突變、壓強(qiáng)突變）

   意外振動（掉入異物，碰撞等）

七：大氣載、熱氣體、突變七載

引起問題：1、溫度過高   2、動靜片變形 3、轉(zhuǎn)子上移4、潤滑失效5、軸承失效

解決方法：1、加大水冷   2、縮短換油時(shí)間

八、泵不啟動

   原因有：1、電源故障、可參照電源說明書

           2、連接電纜不通，用電表查連接電纜，并檢查和使插座接觸良好。

九、長時(shí)間啟動仍達(dá)不到額定轉(zhuǎn)速或停轉(zhuǎn)

原因：1、系統(tǒng)有漏2、前級壓強(qiáng)過高3、轉(zhuǎn)向有誤4、潤滑油失效5、軸承損壞

十、大的振動和噪聲

原因和解決方法：

1、潤滑油污染或潤滑油不足

2、共振：應(yīng)改變裝配位置及連接尺寸，并使活動件固定或加減振橡膠墊

3、動平衡破壞：單獨(dú)對泵進(jìn)行試轉(zhuǎn)，振動、噪聲仍很大應(yīng)送回返修。

4、軸承損壞：檢查轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動是否靈活，有無重滯現(xiàn)象，軸承損壞應(yīng)返修，更換軸承。

十一、真空度低

1、前級漏氣2、前級泵太小3、高真空漏4、規(guī)管出氣量大5、前幾真空泵工作不正常